三孚新科获3.2亿元复合集流体设备采购订单，标志着化学沉积一步法路线在设备端获得规模化订单验证，但就整体竞争格局而言，磁控溅射与水电镀组成的两步法仍是当下主流技术路线，设备龙头格局已相对清晰。在磁控溅射设备领域，腾胜科技凭借深厚技术沉淀占据国产市场半壁江山；在水电镀设备领域，东威科技是目前唯一能够供应复合铜箔水电镀设备的厂商。三孚新科的订单更多体现为差异化路线（一步法）的突破，而非对主流设备格局的颠覆。

主流两步法设备：格局清晰，龙头各据一方

复合集流体设备竞争格局与底层工艺路线高度绑定。当前主流的“磁控溅射+水电镀”两步法，对应两类核心设备，各自形成了较为集中的龙头格局。

磁控溅射设备方面，国产设备已基本完成进口替代，行业新增产能基本采购国产设备。国内厂商主要集中在广东、安徽地区，其中腾胜科技处于国产磁控溅射设备市场第一梯队，占据了半壁江山。腾胜科技拥有二十五年真空镀膜技术与设备沉淀，2017年推出国内首台量产型复合铜箔真空镀膜设备，主力机型为2代机和2.5代机，生产良率可达90%，设计产能为行业同类设备的2.5倍，客户包括日本TDK、宝明科技、万顺新材等。

水电镀设备方面，复合铜箔用的水平电镀设备与传统PCB垂直电镀差异显著，基本属于全新设备。目前能够供应复合铜箔水电镀设备的厂商只有东威科技。东威科技凭借PCB电镀领域的技术积累，发明了无张力同步传输、电流均匀传导等关键技术，其双边夹卷式水平镀膜设备良率可达90%以上，仅8月和9月公告的订单及框架协议总金额就超过17亿元。此外，东威科技还引入新团队开发磁控溅射设备，为客户提供一体化服务。

差异化路线设备：三孚新科订单落地，道森股份布局在途

除主流两步法外，其他工艺路线成熟度尚不高，设备出货量有限，但已有厂商率先卡位。

三孚新科在推出化学沉积一步法后，对相关试剂和设备进行了全方位布局。其一步法工艺速率0.6m/min，良率95%，量产后成本3元/平米。2022年11月16日，智动力与三孚新科签订《战略合作框架协议》，将采购一批“一步式”全湿法化学镀铜设备，预计总金额3.2亿元。这一订单使三孚新科成为化学沉积路线设备端率先获得规模化订单的厂商。

道森股份则正在布局磁控溅射-蒸镀一体机，已收购深圳洪田，并计划投入2.48亿元用于研发中心建设，针对该设备重点布局，样机预计在2023年二季度推出。

常见问题

三孚新科的3.2亿元订单在行业中处于什么水平？

该订单验证了三孚新科化学沉积一步法设备已获得客户认可，是差异化路线的重要突破。但对比主流两步法设备龙头的订单体量，东威科技仅8月和9月公告的水电镀设备订单及框架协议合计就超过17亿元，三孚新科的订单规模尚处于早期放量阶段。

复合集流体设备市场的龙头格局是怎样的？

在主流两步法路线中，磁控溅射设备由腾胜科技领跑，占据国产市场半壁江山；水电镀设备由东威科技独家供应，并已延伸布局磁控溅射设备。其他路线如三孚新科的化学沉积一步法设备和道森股份的磁控溅射-蒸镀一体机，目前成熟度相对有限，尚处于订单落地或样机研发阶段。

不同技术路线对应的设备竞争差异在哪里？

两步法设备因工艺成熟、客户验证充分，已形成明确的龙头集中格局；一步法及其他差异化路线设备成熟度较低，参与者较少，竞争格局尚未定型。设备商的竞争不仅取决于技术性能，还受制于产能扩张速度、客户结构及一体化服务能力，后续格局演变需以各厂商订单落地情况和第三方实测数据为准。