三孚新科化学沉积一步法设备已获3.2亿订单，复合集流体国产设备如何实现自主替代？

复合集流体国产设备的自主替代，正沿着“先易后难、由点到面”的路径推进：在磁控溅射环节，国产设备凭借性价比已完成进口替代；而在更具颠覆性的化学沉积一步法领域，三孚新科已率先实现设备突破，其“一步式”全湿法化学镀铜设备获得智动力预计总金额3.2亿元的采购订单，标志着国产设备在新型工艺路线上同样具备主导能力。

从两步法到一步法：国产设备的替代逻辑

复合集流体表面镀膜的主流技术路线是“磁控溅射+水电镀”两步法。其中，磁控溅射设备在产业发展初期以进口为主，来源包括应用材料、爱发科等公司，但进口设备造价普遍是国产设备的3倍左右，生产周期长且维护困难。随着产业发展，国产设备逐渐切入并完成进口替代，目前行业新增产能基本采购国产设备，腾胜科技凭借二十余年的技术沉淀处于国产磁控溅射设备市场第一梯队。

相比之下，一步法（化学沉积）直接省略了磁控溅射环节，工艺更简化，但设备此前成熟度不高。三孚新科在推出化学沉积一步法后，对相关试剂和设备进行了全方位布局并获客户认可，其设备已实现速率0.6m/min、良率95%的指标，量产后成本可达3元/平米。这一成本与良率表现，正是国产设备从“跟跑”转向“领跑”的关键支撑。

订单落地：国产一步法设备的商业化验证

2022年11月16日，智动力与三孚新科签订《战略合作框架协议》，将向三孚新科采购一批“一步式”全湿法化学镀铜设备，预计总金额3.2亿元。这是化学沉积一步法设备获得的首个大规模商业化订单，意味着该路线已从实验室走向量产验证阶段。

常见问题

为什么磁控溅射设备能率先实现国产替代？

核心在于性价比。进口设备虽然运行稳定，但造价是国产设备的3倍左右，生产周期长、维护难。国产设备在性能达标的同时价格优势明显，因此随着产业发展，新增产能基本转向采购国产设备。

一步法相比两步法的核心优势是什么？

一步法通过化学沉积直接完成镀膜，省略了磁控溅射环节，工艺更短、设备投入更少。三孚新科的一步法设备在良率（95%）和量产成本（3元/平米）上均表现出竞争力，工艺简化带来的成本优势是其推动国产设备自主可控的关键。

除了三孚新科，还有哪些国产设备在布局新工艺？

道森股份正在布局磁控溅射-蒸镀一体机，已收购深圳洪田并计划投入资金用于研发中心建设，预计后续将推出样机。整体来看，国产设备在复合集流体各工艺路线上均已形成多点布局。