SEMI数据显示,全球半导体设备市场规模在2021年(预估值)已超过1000亿美元,中国大陆是重要的设备采购市场,但本土厂商在全球设备厂商营收排名中尚未进入前列,整体份额有限。从结构看,刻蚀、清洗、去胶等环节已有国产设备进入主流产线,光刻环节差距最大;与此同时,以北方华创为代表的国产设备企业营收从2016年的17亿元增长至2021年前三季度的62亿元,展现出较快的成长速度。
全球设备市场:规模超千亿美元,高度集中
据SEMI数据,全球半导体设备市场规模从2012年的370亿美元一路攀升,2021年(预估值)达到1040亿美元,首次突破千亿美元量级。但这个市场是典型的“少数人的游戏”:2020年全球前五大设备厂商合计份额超过70%,其余厂商份额均在5%以下。
从总部所在地看,头部厂商集中在美、欧、日——应用材料、阿斯麦、泛林半导体、东京电子、科磊位列前五。在这份全球排名中,中国大陆厂商尚未上榜。具体到前道核心设备,集中度更高:光刻机前三名合计份额约93%,刻蚀设备约91%,PVD设备约96%,CMP设备约99%。
中国厂商的位置:局部突破,光刻差距最大
中国大陆厂商虽然在整体排名中缺席,但在部分环节已实现从无到有的突破。国产设备替代进程表显示:
| 环节 | 代表企业 | 已覆盖技术节点(nm) |
|---|---|---|
| 硅刻蚀 | 中微公司 | 65/45/28/14/7/5 |
| 介质刻蚀 | 中微公司 | 65/45/28/14 |
| PVD | 北方华创 | 65/45/28/14 |
| 氧化炉/LPCVD | 北方华创 | 65/28/14 |
| ALD | 北方华创 | 28/14/7 |
| PECVD | 沈阳拓荆 | 65/28/14 |
| 光刻机 | 上海微 | 90 |
| 匀胶机 | 芯源微 | 90/65 |
| 清洗机 | 北方华创 | 65/45/28 |
可以看到,刻蚀、薄膜沉积、清洗等环节的国产设备已推进到28nm乃至更先进节点,而光刻环节目前公开的覆盖节点为90nm,与国际龙头存在明显差距。这也意味着,国产替代的空间依然很大。
成长速度方面,北方华创营收从2016年的17亿元增至2021年前三季度的62亿元,其中2020年同比增长50%,2021年前三季度同比增长60%。
常见问题
中国半导体设备厂商在全球处于什么位置?
从营收规模看,中国大陆厂商尚未进入全球设备厂商排名前列,整体份额有限。但在刻蚀、清洗、薄膜沉积等环节,部分国产设备已进入主流产线,覆盖至28nm及更先进节点,属于“局部突破、整体追赶”的格局。
国产半导体设备最大的短板在哪里?
光刻环节差距最为突出。目前国产光刻机公开的覆盖节点为90nm,而全球光刻机市场前三名合计份额约93%,技术壁垒和垄断程度极高,是国产替代难度最大的环节。
国产设备企业成长速度如何?
以北方华创为例,其营收从2016年的17亿元增长至2021年前三季度的62亿元,2020年同比增长50%,2021年前三季度同比增长60%,体现出较快的成长节奏。