大基金一期与二期同时出现在北方华创、中微公司、盛美上海等半导体设备企业的前十大股东名单中,其中大基金一期持有北方华创7.46% 股份。在资本纽带连接下,国产设备行业正形成多赛道并进、细分环节各有龙头的竞争格局:去胶、清洗、刻蚀、热处理、PVD、CMP、涂胶显影等环节均已有代表性国内厂商,行业整体呈现“赛道分散、单点突破”的特征。

各环节龙头格局:赛道分散,单点突破

半导体设备技术壁垒高、市场份额集中,且分类繁多、各设备间差异很大。对于单家企业而言,很难通过自主研发实现跨设备发展——即便是国际巨头应用材料,也是通过持续外延并购才扩张为多领域龙头。因此设备企业的初始产品,很大程度上决定了其成长天花板。

从国产化率看,各环节进程差异显著:

设备环节国产化率主要国内厂家
去胶设备90%以上屹唐股份
清洗设备20%左右盛美股份、北方华创
刻蚀设备20%左右中微公司、北方华创、屹唐股份
热处理设备20%左右屹唐股份、北方华创
PVD设备10%左右北方华创
CMP设备10%左右华海清科
涂胶显影设备零的突破芯源微
光刻设备预计将有零的突破上海微电子

数据来源:盛美股份招股说明书、东方证券研究所

去胶设备国产化率已超90%,成长性相对有限;光刻机从0到1,不确定性较大。相比之下,刻蚀与薄膜沉积等核心赛道更符合长坡厚雪的特征,也更适合长期跟踪。

大基金如何穿针引线

大基金的作用不止于资金。2019年10月成立的大基金二期重点投资半导体设备和材料领域,募集资金2041亿元,按照华创证券预测,可撬动社会融资7000亿元左右,最终可投资规模接近万亿。

更关键的是,大基金同时投资了多家国内晶圆厂。在其穿针引线下,晶圆厂对国产设备的接受度明显提升,基本能用国产设备的环节都已导入国产方案。例如北方华创的刻蚀机、PVD等设备在2020年投入市场后获得下游积极反馈,订单增长较快。这种“设备商—晶圆厂”之间的生态协同,正是资本纽带带来的深层价值。

技术迭代放缓提供的追赶窗口

半导体技术迭代放缓,为国产设备追赶提供了技术上的可能性。以Intel为例,其Tick-Tock模式原本约12到18个月完成一次工艺与架构交替,但进入22nm节点后制程缩小难度指数级上升,迭代明显放缓——Intel在2015年本应推出10nm工艺处理器,实际发布的只是14nm工艺。

这一趋势下,中微公司的CCP刻蚀机已覆盖到最先进的5nm制程,并进入台积电供应链,部分产品已不逊色于国际一流厂商。

常见问题

大基金同时入股多家设备公司,是否意味着这些企业存在直接竞争?

并非如此。半导体设备分类繁多,各环节技术差异很大,企业往往在各自细分赛道建立优势。北方华创覆盖清洗、刻蚀、热处理、PVD等多个环节,中微公司聚焦刻蚀,盛美上海主攻清洗,更多是互补而非直接竞争。

国产设备行业当前最值得关注的变量是什么?

一是国产替代进程,不同环节国产化率差异悬殊,决定了各企业当前的成长性;二是企业自身实力,核心看市占率与技术节点,分别代表市场地位和研发能力。

技术迭代放缓对国产设备意味着什么?

制程缩小难度指数级上升,全球芯片技术发展整体减慢,这为国内企业追赶国际一流提供了时间窗口。中微公司的CCP刻蚀机已覆盖5nm制程并进入台积电供应链,即是这一逻辑的体现。