半导体设备国产化率数据背后，哪些国内厂商在各环节占据主导？

从国产化率数据看，国内半导体设备已形成较清晰的分环节主导格局：去胶设备国产化率90%以上，屹唐股份是主要国内厂家；清洗设备国产化率20%左右，盛美股份与北方华创是主要国内厂家；刻蚀设备国产化率20%左右，主要国内厂家为中微公司、北方华创、屹唐股份；热处理设备国产化率20%左右，主要国内厂家为屹唐股份与北方华创。 此外，PVD设备国产化率10%左右，主要国内厂家为北方华创；CMP设备国产化率10%左右，主要国内厂家为华海清科；涂胶显影设备实现零的突破，对应芯源微；光刻设备预计将有零的突破，对应上海微电子。数据来源为盛美股份招股说明书、东方证券研究所。

各环节主导厂商一览

从表中可见，屹唐股份在去胶环节占据主导，并在刻蚀、热处理环节均有布局；北方华创横跨清洗、刻蚀、热处理、PVD多个环节，是覆盖面较广的国内厂家之一；中微公司在刻蚀环节占据重要位置。 国产化率越高的环节，替代空间相对越小；国产化率偏低或尚处突破阶段的环节，成长路径的不确定性也相应更大。

资源集中如何影响格局

政策支持是国产设备发展的重要机遇之一。大基金二期重点投资于半导体设备和材料领域，共募集资金2041亿元；按照华创证券预测，可撬动社会融资7000亿元左右，最终可投资规模接近万亿。国内知名度较高的几家设备公司，如北方华创、中微公司和盛美上海，前十大股东中都能看到大基金的身影。

大基金的影响不止于资金。大基金还投资了多家国内晶圆厂，在其穿针引线下，晶圆厂对国产设备的接受度明显提升，基本能用国产设备的都使用了国产设备。例如北方华创的刻蚀机、PVD等设备在2020年投入市场后获得下游积极反馈，订单增长较快。资源向头部厂商集中，客观上强化了上述分环节主导格局。

常见问题

去胶设备为什么国产化率最高？

按国产化率数据，去胶设备国产化率在90%以上，主要国内厂家为屹唐股份。国产化率已处于高位的环节，通常意味着替代进程推进较早，后续成长性相对有限。

刻蚀设备环节有哪些国内厂商？

刻蚀设备国产化率在20%左右，主要国内厂家包括中微公司、北方华创、屹唐股份。该环节属于三大核心设备赛道之一，国内厂商布局相对集中。

大基金对设备厂商格局有何影响？

大基金二期重点投资半导体设备和材料领域，北方华创、中微公司、盛美上海等公司前十大股东中均可见大基金身影。资金与产业链协同的双重支持，降低了国产替代的难度，也使资源进一步向头部厂商集中。