**去胶设备国产化率率先突破90%,是产业转移、政策支持与技术迭代放缓三大机遇叠加的结果。**其中,国家政策通过集中研发、政府补助和股权投资等多条路径为半导体企业提供支持,而大基金二期的资金注入尤为关键——其募集资金2041亿元,重点投向半导体设备和材料领域,按华创证券预测可撬动社会融资7000亿元左右,最终可投资规模接近万亿。在这一支持体系下,去胶设备成为国产化率最高的环节,国产化率达90%以上,主要国内厂家为屹唐股份,显著领先于清洗、刻蚀、热处理等20%左右国产化率的环节。

政策支持如何传导到设备环节

国家为鼓励半导体产业发展,已出台一系列政策,通过集中研发、政府补助以及股权投资等多种路径,为半导体企业提供支持。2018年中美贸易冲突后,发展半导体产业的决心进一步坚定,“十四五”规划明确了半导体前沿领域的战略定位。

资金端的传导尤为直接。2019年10月成立的大基金二期,重点投资于半导体设备和材料领域,募集资金2041亿元,按华创证券预测可撬动社会融资7000亿元左右。北方华创、中微公司、盛美上海等国内知名度较高的设备公司,前十大股东中均可见大基金身影。在资金加持下,国内设备企业升级难度大大降低。

更关键的是产业链协同。大基金也投资了许多国内晶圆厂,在其穿针引线下,晶圆厂对国产设备的接受度明显提升,基本能用国产设备的都使用了国产设备。

为什么是去胶设备率先突破

半导体设备国产化率呈现明显的梯度差异:

设备名称国产化率主要国内厂家
去胶设备90%以上屹唐股份
清洗设备20%左右盛美股份、北方华创
刻蚀设备20%左右中微公司、北方华创、屹唐股份
热处理设备20%左右屹唐股份、北方华创
PVD设备10%左右北方华创
CMP设备10%左右华海清科
涂胶显影设备零的突破芯源微
光刻设备预计将有零的突破上海微电子

数据来源:盛美股份招股说明书、东方证券研究所

去胶设备能率先达到90%以上国产化率,与产业转移的大背景密不可分。大陆地区晶圆制造市场份额从2005年的7%提升至2020年的23%,对半导体设备的需求大幅提升,2020年已晋级全球首位,2021年规模进一步提升至296亿美元,全球占比达28.9%。下游产能扩张带来的验证与采购需求,为国产设备提供了落地场景。同时,技术迭代放缓也为追赶创造了条件——制程缩小在进入10nm尺度后难度指数级上升,自22nm起芯片制程迭代明显放缓,后发企业追赶国际一流的窗口随之打开。

国产替代进程该如何理解

国产替代进程决定了设备企业当前的成长性。去胶设备这类国产化率已超过90%的环节,成长性相对较弱;而光刻机这类从0到1的环节,不确定性则较大。设备市场空间决定企业成长天花板,国产替代进程决定当前成长性,两者结合才是完整的观察框架。

常见问题

去胶设备国产化率为什么能超过90%?

去胶设备国产化率达90%以上,主要国内厂家为屹唐股份。这一环节率先突破,既受益于大陆晶圆产能扩张带来的设备需求,也受益于大基金二期对设备和材料领域的重点投入及产业链协同。

大基金二期对半导体设备国产化的作用体现在哪里?

大基金二期募集资金2041亿元,重点投资半导体设备和材料领域,按华创证券预测可撬动社会融资7000亿元左右。除资金外,其投资的国内晶圆厂在穿针引线下提升了对国产设备的接受度,北方华创、中微公司、盛美上海前十大股东中均有大基金身影。

国产化率不同的设备环节,成长性差异大吗?

差异明显。去胶设备国产化率已达90%以上,成长性相对较弱;清洗、刻蚀、热处理设备国产化率在20%左右,PVD、CMP设备在10%左右,仍有替代空间;涂胶显影设备实现零的突破,光刻设备预计将有零的突破,不确定性较大。