全球抛光垫市场的龙头是美国厂商,而非日本厂商。虽然日本在抛光垫的微孔结构规整度等微观制造指标上具备工艺优势,但从全球市场份额来看,美国杜邦(Dow)以绝对优势占据主导地位,是行业公认的龙头。

全球抛光垫竞争格局:美企主导

从全球市场分布来看,抛光垫市场呈现出高度集中的寡头格局,美国企业占据了绝大部分市场份额。根据行业统计数据,在2019年的全球抛光垫市场中:

厂商国家市场份额
杜邦美国79%
卡博特微电子美国5%
TWI美国4%
富士纺日本2%
JSR株式会社日本1%
其他9%

可以看出,仅美国杜邦一家就占据了近八成的市场份额,加上卡博特微电子和TWI,美国厂商合计份额超过85%。日本厂商富士纺和JSR株式会社合计份额仅约3%,在整体市场份额上与美企存在明显差距。

日本厂商的工艺优势与国产追赶

尽管日本厂商在全球市场份额上不占优,但在抛光垫微孔结构的规整度这一衡量抛光垫质量的核心指标上,日本产品的工艺水平确实更为突出。抛光垫的孔洞结构规整程度直接决定了抛光效率,是评估产品性能的关键维度。不过,这部分核心生产专利主要掌握在海外巨头手中,并通过合作形成了较强的技术壁垒。

在国内市场,鼎龙股份是唯一实现抛光垫产品量产的本土厂商。公司凭借在高分子合成领域的技术积累,在抛光垫原材料和制作方面填补了国内专利空白,硬垫产品已覆盖28nm以上全部制程,并进入长江存储、中芯国际等国内主流晶圆厂供应链。

常见问题

抛光垫和抛光液哪个价值量更高?

在CMP材料中,抛光液的价值量占比更高,达到49%,抛光垫占比为33%,两者合计超过80%,是CMP工艺的两大核心材料。

国产抛光垫与国际水平的差距在哪里?

主要差距集中在聚氨酯孔洞结构的规整程度上。日本产品在微孔结构的均匀性和规整度方面表现更优,而这项技术专利长期掌握在海外巨头手中,是国内企业突破国产化瓶颈的关键所在。

国内哪家厂商在抛光垫领域布局最深?

鼎龙股份是目前国内唯一实现抛光垫量产的企业,其硬垫产品已覆盖28nm以上全部制程,并在部分存储芯片应用场景中展现出竞争力,是国产抛光垫替代进口的主要力量。