CMP抛光液与抛光垫市场规模增长的核心驱动力,来自国内晶圆厂对关键材料自主可控的强烈诉求。 在CMP材料中,抛光液和抛光垫价值量占比分别达到49%和33%,是两大核心材料;而这两类产品完全由美企主导,杜邦公司与卡博特微电子占据绝大多数市场份额,部分细分产品在日韩难以找到替代品,供需之间的结构性缺口因此成为该细分市场扩张的主要推力。

一、国产化缺口为何成为核心驱动

不同于硅片、光刻胶由日企主导的格局,CMP抛光液和抛光垫长期由美企主导。2019年全球抛光垫竞争格局中,美国杜邦占79%、美国卡博特微电子占5%、美国TWI占4%,日本富士纺与JSR株式会社分别仅占2%和1%。这种高度集中的供给结构,叠加部分细分产品在日韩难以寻得替代,使国内晶圆厂对抛光液和抛光垫的国产化诉求很高,为本土供应商留出了明确的替代空间。

二、本土供给能力与规模扩张的支撑

国产厂商已在这两个环节形成实际供给能力,构成市场规模持续增长的产业基础。

CMP核心材料价值量占比国产化进展
抛光液49%安集科技定位全产品解决方案,产品获大陆晶圆厂认可并成为台积电供应商
抛光垫33%鼎龙股份实现量产,硬垫覆盖28nm以上全部制程,部分产品效率高于海外品牌

抛光垫方面,鼎龙股份硬垫产品覆盖28nm以上全部制程,客户包括长江存储、武汉新芯、中芯国际、长鑫存储等国内主流晶圆厂,部分晶圆厂内达到一供地位。随着潜江工厂软垫产线投产,公司将具备全系列、全制程抛光垫生产能力,并计划拓展海外市场。抛光液方面,安集科技自2006年成立起专注该业务,主力产品已输出至台湾市场。

三、需求侧与供给侧的双向拉动

需求侧,国内晶圆厂对CMP材料的国产化诉求直接转化为本土采购订单;供给侧,本土企业从原材料端持续突破——安集科技建设材料基地研发生产高端磨粒与电子级添加剂,鼎龙股份实现核心原材料自产化。两端的持续投入使国产CMP材料的市场空间随下游晶圆制造扩产而同步放大。

常见问题

CMP抛光液和抛光垫为什么国产化诉求特别高?

因为这两类材料完全由美企主导,杜邦和卡博特微电子占据绝大多数市场份额,且部分细分产品在日韩难以找到替代品。国内晶圆厂出于供应链安全考虑,对本土供应商的导入意愿较强。

国内哪些企业已经在CMP材料上实现突破?

抛光液领域以安集科技为代表,定位全产品解决方案,产品已进入台积电供应体系;抛光垫领域目前只有鼎龙股份实现量产,硬垫覆盖28nm以上全部制程,并计划向海外市场拓展。

抛光液和抛光垫哪个价值量更高?

在CMP抛光材料成本构成中,抛光液占比49%,抛光垫占比33%,抛光液价值量更高。此外调节器占9%、清洁占5%、其他占4%。