国产抛光液配方的突破,主要体现在以安集科技为代表的国内厂商已能提供覆盖多类应用的抛光液产品,并进入台积电等海外晶圆厂供应链。但半导体材料要实现自主可控,仍需补齐三块短板:磨粒等核心原材料的自给、定制化配方的 Know-how 积累,以及客户验证与量产稳定性的持续爬坡。抛光液是 CMP 环节价值量占比最高的材料,占比达 49%,其国产化节奏直接关系到 CMP 材料的整体自主水平。

配方突破:从"能做"到"做全"

抛光液是一种分布均匀的胶体,成分复杂,包括氧化剂、磨粒、络合剂、表面活性剂、缓蚀剂、pH 调节剂与 pH 缓冲剂等,需按一定比例配制。按应用领域,抛光液可分为硅抛光液、铜及铜阻挡层抛光液、钨抛光液、钴抛光液、层间介质层抛光液、浅槽隔离层抛光液、3D 封装硅通孔抛光液七大类。

安集科技自 2006 年成立起专注 CMP 抛光液业务,定位为全产品解决方案,在上述七大类产品中,要么已量产数年,要么刚上线,要么处于研发论证阶段。其主力产品已获大陆晶圆厂高度认可,并成功输出至台湾,成为台积电供应商。

自主可控还差哪些关键环节

第一,核心原材料磨粒。 磨粒是抛光液最核心的组分,约占原材料成本的 50%-70%,目前最常用的是二氧化硅。磨粒的核心技术仍由海外巨头垄断,国内新安纳虽具备生产能力,但产品线较少;安集科技的磨粒主要采购自日本厂商。安集科技正在建设材料基地,专门研发生产高端磨粒及电子级添加剂等关键原材料,原材料逐步自产化有望带动盈利能力提升。

第二,配方 Know-how 与工艺稳定性。 抛光液定制化程度很高,不同客户需求各异,生产企业必须不断找到合适配方与稳定制作工艺,这考验的是长期技术积累与持续研发尝试,难以短期复制。

第三,客户验证与供应格局。 从安集科技历史销售数据看,客户集中度较高,2017 至 2020 年前五大客户合计占比在 84% 至 90% 区间,客户验证进度直接决定放量节奏。

常见问题

抛光液国产替代最难的是配方还是原材料?

两者都是关键瓶颈。配方端考验 Know-how 经验,只能靠长时间技术积累和不断研发尝试;原材料端,磨粒核心技术仍被海外巨头垄断,国内厂商的磨粒主要依赖日本采购。安集科技正通过自建材料基地推进高端磨粒与电子级添加剂的自主生产。

国内抛光液厂商的客户验证进展如何?

以安集科技为例,其主力产品已获大陆晶圆厂高度认可,并成为台积电供应商,说明国产抛光液在部分品类上已通过海外先进晶圆厂的验证。但整体看,客户集中度仍高,新品类与新客户的验证需要时间。

抛光液在 CMP 材料中的地位如何?

CMP 两大核心材料为抛光液和抛光垫,价值量占比分别为 49% 和 33%,抛光液占比最高。其生产难点在于控制磨粒的硬度与形状,以及使各组分达到合适浓度,从而保障产品一致性与可靠性。