电子特气是半导体材料中市场分散、细分品类众多的赛道,国内主要参与者包括金宏气体、华特气体、派瑞特气、昊华科技、南大光电、凯美特气、和远气体等,海外则以林德、液化空气、空气化工、大阳日酸等国际大厂为主导。凯美特气氖气毛利率可达94%的高回报,正是气体厂商积极布局电子特气的重要驱动力;但需注意,氖气本身市场规模仅约1亿美元,单品能贡献的业绩弹性其实很小。

电子特气的市场特征与吸引力

电子气体在半导体工艺每个环节都有应用,素有“半导体的血液”之称。半导体制造中使用的气体超过100种,特种气体(电子特气)与大宗气体用量大约各占一半。

电子特气属于相对小众的市场。半导体特种气体市场规模在工业气体大盘中占比不到4%,但需求增速较快,未来有希望提升到工业气体的10%,同时毛利回报更高。凯美特气的氖气毛利率可以达到94%,这正是厂商布局积极性高的直接原因。不过从单品看,规模最大的三氟化氮约8亿美元,六氟化钨约3亿美元,氖气规模仅约1亿美元左右,单品业绩弹性有限。

电子特气最明显的特征是纯度要求高,进入纳米时代后纯度至少要达到5N,先进制程更要求6N以上。技术瓶颈集中在气体提纯与混合气体精确配比两大环节。

竞争格局:海外主导,国产多点突破

全球与中国电子特气市场均由几家国际大厂占据主要份额。全球市场中,空气化工、液化空气、大阳日酸、林德集团合计占据大部分份额;中国市场同样以空气化工、林德、液化空气、大阳日酸为主。

国内方面,多家公司已在不同特气单品中实现突破,呈现差异化竞争态势:

公司主要产品涉及气体类型
金宏气体超纯氨、高纯氧化亚氮、高纯氢、高纯二氧化碳、硅烷混合气等刻蚀气体、沉积气体
华特气体高纯六氟乙烷、高纯四氟化碳、高纯氨、高纯一氧化碳等光刻气、刻蚀气体、掺杂气体等
派瑞特气六氟化钨、三氟化氮、SiF4、C2F6、C4F8、HF、HCl、氘气等刻蚀气体、钨沉积气体
昊华科技六氟化硫、三氟化氮、四氟化碳、混合气、高纯电子气等刻蚀气体、钨沉积气体
南大光电氢类电子特气(砷烷、碳烷等)、含氟电子特气离子注入气体、刻蚀气体、钨沉积气体
凯美特气二氧化碳、氖气、氙气、一氧化碳、氮气、氢气等稀有气体
和远气体高纯氢气、液氮等空分大宗气体和高纯氢气、氧气

华特气体从高纯六氟乙烷入手,现已能够规模化供应20多种产品,其中一些产品的纯度和品质已达到国际先进水平。

认证壁垒与筛选逻辑

国内大部分气体公司属于追随者,创新能力相对不足,又难以稳定供应高品质产品,终端晶圆厂或设备商一般不愿直接使用其产品,获得认证的国产厂商其实很少。国际大厂在半导体领域深耕数十年,在与终端客户协同试错中建立了较好的合作关系,终端客户更信任其管控体系。

一个典型例子是:凯美特气生产的混合气体已能满足阿斯麦的光刻机需求,但因缺少认证,暂时只能通过林德和液化空气销售。这提示了一条筛选思路——已获得认证、尤其是海外终端厂商认证的气体公司,产品经过了下游验证。例如华特自主研发的4种光刻混合气已通过阿斯麦认证,锗烷产品通过海力士及英飞凌认证,另有更多产品获得中芯国际、合肥长鑫等国内晶圆厂认证。

常见问题

电子特气赛道国内有哪些主要龙头?

国内主要参与者包括金宏气体、华特气体、派瑞特气、昊华科技、南大光电、凯美特气、和远气体等,各家在不同特气单品上实现差异化突破。其中华特气体产品种类较多,部分产品纯度已达国际先进水平;派瑞特气在六氟化钨、三氟化氮等刻蚀与沉积气体上有布局。

为什么氖气高毛利没有带来很大的业绩弹性?

凯美特气氖气毛利率可达94%,但氖气单品市场规模仅约1亿美元左右,在电子特气整体市场中占比很小,因此能贡献的业绩弹性其实有限。高毛利更多体现的是电子特气整体的盈利特征,而非单一氖气品种的体量。

如何判断一家电子特气公司的竞争力?

一个可参考的维度是终端客户认证情况。由于晶圆厂对气体品质和供应稳定性要求极高,获得认证尤其是海外终端厂商认证的公司,产品通常经过了下游验证。华特气体的光刻混合气通过阿斯麦认证、锗烷产品通过海力士及英飞凌认证,即属于此类进展。