氖气是电子特气中单品规模较小但战略意义突出的品类,凯美特气的氖气毛利率可达94%,反映出部分电子特气品类具备较高的毛利回报。从全球格局看,电子特气市场由美国空气化工、法国液化空气、日本大阳日酸、德国林德集团等国际大厂主导,中国企业在氖气等稀有气体及部分特种气体单品上实现突破,但特气整体国产化率仍不到15%,高端品类认证壁垒较高,多数国内厂商仍以代工形式参与全球供应链。

全球电子特气格局:四家国际大厂主导

电子特气是工业气体中的小众品类。半导体特种气体市场规模约45亿美元,在工业气体整体市场中占比不到4%,但需求增速较快,未来有希望提升至工业气体的10%。

从全球竞争格局看,美国空气化工、法国液化空气、日本大阳日酸、德国林德集团合计占据主要份额,其余市场较为分散。在中国市场,同样是这几家国际大厂占据主导地位。这些企业在半导体领域深耕数十年,在与终端客户协同试错中建立了较深的合作关系,终端客户对其管控体系信任度较高。

中国位置:单品突破与认证瓶颈并存

中国电子特气的国产替代呈现"蓬勃发展但认证偏少"的特征。国内政策支持叠加成本优势,已有多家公司在不同特气单品中实现突破,形成差异化竞争格局:

公司主要电子特气产品
华特气体高纯六氟乙烷、高纯四氟化碳、高纯一氧化碳等
金宏气体超纯氨、高纯氧化亚氮、硅烷混合气等
南大光电砷烷、磷烷等氢类特气及含氟特气
凯美特气氖气、氙气、氟气等稀有气体
派瑞特气三氟化氮、六氟化钨等

在氖气供给方面,乌克兰的供给占比约为四五十,国内供给与乌克兰大致相当,并非媒体渲染的乌克兰占七八成。不过氖气单品规模仅约1亿美元,能贡献的业绩弹性较小。

制约国产特气放量的核心瓶颈在于终端认证。国内大部分气体公司相对缺乏创新能力,又难以稳定供应高品质产品,晶圆厂或设备商一般不愿直接使用。多数国内厂商只能给国际大厂做代工——大厂从国内厂商采购气体产品后贴牌销售给下游客户。以凯美特气为例,其生产的混合气体已能满足阿斯麦的光刻机需求,但因缺少认证,暂时只能通过林德和法液空销售。

技术壁垒决定卡位高度

电子特气的两大技术瓶颈是气体提纯与混合气体精确配比。提纯需组合运用精馏分离、分子筛吸附分离、膜分离等多种方法,工艺复杂、研发壁垒高;混配则对累计误差控制和配比精度要求极高,精度偏差会直接影响光刻机分辨率。纯度方面,进入纳米时代后气体纯度至少需达到5N,先进制程更要求6N以上。

这也解释了为何认证成为筛选企业的关键标准——已获认证尤其是海外终端厂商认证的气体公司,产品品质更有保障。华特气体自主研发的4种光刻混合气已通过阿斯麦认证,锗烷产品通过海力士及英飞凌认证,另有产品获得中芯国际、合肥长鑫等国内晶圆厂认证。

常见问题

中国氖气供给在全球处于什么位置?

乌克兰的氖气供给占比约四五十,国内供给与乌克兰大致相当。氖气因俄乌战争导致供给受损而受到关注,但实际供给集中度并没有部分媒体描述的那么极端。

为什么国内电子特气企业毛利率高却难以直接供货?

电子特气毛利回报较高,凯美特气氖气毛利率可达94%。但终端晶圆厂和设备商对气体供应商的认证要求严格,国内厂商普遍缺乏认证,多数只能通过林德、法液空等国际大厂贴牌销售,利润分配受制于渠道环节。

筛选电子特气公司应关注什么?

核心看认证进展。已获得认证、尤其是通过海外终端厂商认证的气体公司,产品品质和稳定供应能力更有保障。在国产替代趋势下,有实力的国内厂商获得认证只是时间问题,认证进度可作为衡量企业竞争力的重要参考。