半导体特种气体属于规模不大但增速较快、毛利回报较高的细分赛道。按2020年口径，半导体特种气体市场规模约45亿美元，在工业气体整体市场中占比不到4%，未来有希望提升到工业气体的10%；国内特气国产化率还不到15%，是国产替代的重点方向。 以凯美特气为例，其氖气毛利率可以达到94%，高回报正吸引气体厂商积极布局。需要说明的是，电子特气品类多、市场分散，单个品种规模普遍偏小，规模最大的单品三氟化氮约8亿美元，氖气约1亿美元。

一、市场规模：小众但增速快

2020年，工业气体整体市场规模超过1340亿美元，其中大宗气体是主要市场，属于资本密集型、技术壁垒相对不高，我国已实现自主化。相比之下，电子特气是小众市场：2020年半导体特种气体市场规模只有45亿美元左右，在工业气体大市场中占比不到4%。

但从趋势看，需求增速很快，未来有希望提升到工业气体的10%。从全球电子特气市场规模（亿美元）的历史数据看，2016年为36.8，2017年为38.8，2018年为42.8，2019年为43.0，2020年为41.8，2021年为45.3，整体呈稳步扩张态势。

二、需求驱动：晶圆厂扩产与制程升级

在半导体制造过程中，使用到的气体超过100种，其中特种气体（电子特气）与大宗气体用量大概各占一半。电子特气以化合物气体为主，主要作用是参与芯片制造过程，通过化学反应生成物质，例如利用硅烷反应生成二氧化硅介质。

随着芯片制程不断发展，对气体纯度的要求越来越高：进入纳米时代后，气体纯度至少要达到5N，先进制程更要求纯度达到6N以上。纯度直接影响芯片的技术指标和良率，这使得电子特气的提纯与混配工艺壁垒很高——提纯涉及精馏分离、分子筛吸附分离、膜分离等多种方法组合；混合气配比精度则是光刻气等产品的核心参数，配比偏差会影响光刻机分辨率。

三、高毛利与国产替代共振

电子特气需求增长快、毛利回报高。资料显示，凯美特气的氖气毛利率可以达到94%，因此气体厂商布局电子特气的积极性很高。

国内方面，特气仍是薄弱环节，国产化率还不到15%。在政策支持与成本优势下，国产特气实现了蓬勃发展，多家公司在不同单品上取得突破，例如华特气体从高纯六氟乙烷入手，已能规模化供应20多种产品。不过，终端晶圆厂或设备商对国产产品认证较为谨慎，获得认证的国产厂商较少，部分国内企业只能先通过国际大厂贴牌销售，例如凯美特气生产的混合气体已能满足阿斯麦的光刻机需求，但因缺少认证，暂时只能通过林德和法液空销售。能否获得认证，是筛选优质气体公司的重要参考。

常见问题

电子特气在半导体材料中占比大吗？

不大。按2020年口径，半导体特种气体市场规模约45亿美元，在工业气体整体市场中占比不到4%。但它需求增速快、毛利回报高，未来有希望提升到工业气体的10%。

氖气市场规模有多大？毛利率为何受关注？

氖气规模约1亿美元，能贡献的业绩弹性其实很小。其受关注主要因为俄乌冲突导致供给受损、被媒体广泛报道，同时凯美特气的氖气毛利率可以达到94%，体现出电子特气较高的毛利回报特征。

国内电子特气国产化进展如何？

国内特气国产化率还不到15%，仍是薄弱环节。目前已有多家公司在不同单品实现突破，但真正通过终端客户认证的较少，认证情况是判断气体公司竞争力的重要参考。