晟成光伏团簇型蒸馏设备主要面向钙钛矿电池的功能层镀膜环节,覆盖除钙钛矿层以外的多个膜层制备;钙钛矿电池下游需求结构(刚性玻璃基底与柔性基底并存)会直接影响镀膜设备在立式/卧式形态及工艺路线上的选型。

钙钛矿电池的镀膜需求贯穿从玻璃基底到电极的多个环节。除钙钛矿层外,玻璃基底、电子传输层、空穴传输层、电极等均涉及PVD类镀膜设备,因此单条产线对镀膜设备的需求量较大。晟成光伏的团簇型多腔式蒸馏设备已实现量产并应用于多个客户端,其特点是在一台设备内实现多腔体连续镀膜,可满足不同膜层的工艺要求。此外,晟成光伏还申请了集成RPD与PVD的镀膜设备专利,进一步拓展设备的功能覆盖范围。

立式与卧式的路线选择

设备形态的选择与基底材料密切相关。晶硅路线由于硅片薄片化趋势,更倾向于卧式(水平式)设备,以避免薄硅片在立式工艺中难以固定的问题。钙钛矿路线则不同,其镀膜基底为玻璃,当玻璃尺寸变大时,放入水平式设备容易发生自然形变,而立式设备可实现自下而上镀膜,因此钙钛矿镀膜设备未来更有可能采用立式方案。

下游需求结构对设备选型的影响

钙钛矿电池的下游应用涵盖刚性玻璃基底和柔性基底两类场景,不同场景对设备形态提出差异化要求。刚性玻璃基底对应上述立式设备需求,而柔性基底场景则可能需要卧式或其他形态的设备方案。这种需求结构意味着设备厂商需要同时储备多种技术路线,以应对不同应用场景的产线建设需求。

常见问题

晟成光伏团簇型蒸馏设备能用于哪些膜层?

该设备可用于钙钛矿电池中除钙钛矿层以外的多个功能层镀膜。由于钙钛矿电池从玻璃基底到电极的多个环节均涉及PVD类设备,团簇型多腔式设计可在一台设备内实现多腔体连续镀膜,满足不同膜层的工艺要求。

钙钛矿镀膜设备为什么更倾向立式方案?

因为钙钛矿是在玻璃上镀膜,当玻璃尺寸增大时,放入水平式设备容易发生自然形变。立式设备支持自下而上镀膜,更适合大尺寸玻璃基底,因此被视为钙钛矿路线未来的主要技术方向。

柔性基底对设备选型有何影响?

柔性基底与刚性玻璃基底对设备形态的需求不同,柔性场景可能需要卧式或其他适配方案。下游需求结构的变化会推动设备厂商同时布局多种技术路线,以覆盖不同应用场景的产线建设需求。