PVT法(物理气相传输法)是当前SiC衬底生产的主流技术,全球约90%以上的企业采用该方法。在功率器件产业链上游,衬底环节成本占比最高(约47%),且技术壁垒最强;全球衬底市场呈现一超格局,Wolfspeed占据约62%份额,国内厂商天科合达市占率约4%。长晶设备和原料供应环节同样高度集中,衬底成本直接影响下游器件价格,同规格SiC器件价格约为IGBT的2.5倍以上

PVT法为何是SiC衬底的主流技术

PVT法通过高温(约2000°C以上)使碳化硅粉末升华,再在籽晶上重新结晶生长单晶。这一方法的核心痛点在于晶体生长速度极慢——行业内通常每小时仅生长0.2-0.3毫米,一周约2-3厘米;即便是行业龙头Wolfspeed,一周也只能生长约4厘米。相比之下,硅材料一周可生长数米晶体,差距达百倍。生长速度慢加上良率较低,直接推高了衬底成本。

全球衬底供应商格局:Wolfspeed一家独大

根据公开数据,SiC衬底市场呈现高度集中的“一超”格局:

供应商市占率
Wolfspeed(原Cree)62%
II-VI14%
Rohm13%
SK Siltron5%
天科合达(国产)4%
其他2%

国内厂商中,天科合达是唯一进入全球前五的国产衬底供应商,市占率约4%。海外厂商多采用IDM一体化模式(覆盖衬底、外延、设计、制造),国内则更多专注单一环节。

长晶设备与原料供应环节

PVT法所需的长晶炉及高纯碳化硅原料,其供应集中度同样较高。长晶炉的技术参数(如温度场控制、压力调节)直接影响晶体质量,而原料纯度则决定了衬底缺陷密度。由于衬底成本占全产业链约47%,这一环节的技术突破对降低SiC器件整体成本至关重要。

上下游协同研发对器件良率的提升

衬底与外延、设计、制造环节的紧密协作,能够显著改善器件良率。例如,衬底缺陷的减少可降低外延层位错密度,进而提升MOSFET或混合型SiC模块(如IGBT+SiC SBD结构)的开关效率。这种协同研发已成为行业降本增效的关键路径。

常见问题

PVT法与其他SiC生长技术相比有何优势?

PVT法是目前90%以上企业采用的主流技术,技术成熟度最高。其他方法(如高温溶液法)尚处于研究阶段,工业化应用有限。

为什么SiC器件比IGBT贵这么多?

主要因为衬底成本高——占全产业链成本的47%,且晶体生长速度极慢(一周仅2-3厘米)。同规格SiC器件价格约为IGBT的2.5倍以上,但随着工艺改进和产能扩张,价差正逐步缩小。

国内企业如何突破SiC衬底技术壁垒?

国内厂商如天科合达正在提升良率与产能,市占率约4%。突破关键在于长晶炉温场控制、原料纯度提升及晶体缺陷密度降低。上下游协同研发(如衬底-外延-器件联合验证)也是加速国产替代的重要路径。

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