磁控溅射设备在复合集流体环节曾长期以进口为主，海外企业应用材料、爱发科等凭借在光学工业与电子工业的长期积累占据主导。随着国产厂商将成熟磁控溅射工艺复用至复合铜箔领域，并逐步完成进口替代，中国企业在复合集流体设备环节已具备一定的先发条件与国产供给能力。目前行业内新增产能基本都会采购国产磁控溅射设备，但基础工艺积累与整线集成能力上，国内外仍各有侧重，不宜简单以绝对领先或落后概括。

工艺复用为何能快速切入

磁控溅射工艺此前已在光学工业和电子工业中广泛应用，拓展到复合铜箔领域时工艺变动并不大，其他领域的磁控溅射设备稍加改动即可直接使用。这一复用路径大幅降低了国产厂商的切入门槛。

相比之下，进口设备造价普遍是国产设备的3倍左右，生产周期长，后续维护也较难。随着复合集流体产业发展，国产设备凭借性价比优势逐渐完成进口替代。

国内竞争格局与代表厂商

国内磁控溅射镀膜设备厂家主要集中在广东、安徽地区，包括广东腾胜、广东汇成、合肥东昇等。受制于设备制造工艺难度，各厂家之间技术差距较大。

腾胜科技在磁控溅射领域钻研二十余年，技术沉淀深厚，其专家是广东省真空卷绕镀膜设备行业标准牵头制定者之一，处于国产磁控溅射设备市场第一梯队，占据半壁江山。公司自2016年布局复合铜箔设备，2017年推出国内首台量产型复合铜箔真空镀膜设备，2021年推出的二代机出口至日本TDK。主力机型2代机与2.5代机中，2.5代机速度达20m/min，单机年产能1100万方。产品已批量出货，客户包括日本TDK、宝明科技、万顺新材等。

东威科技则依托PCB电镀领域积累，推出双边夹卷式水平电镀设备，良率可达90%以上，并引入技术团队开发磁控溅射设备，为客户提供一体化服务，首台磁控溅射设备已出货。

差距与相对位置

海外企业在磁控溅射基础工艺上的长期积累，使其设备调试后运行稳定性较强；国内厂商的优势更多体现在工艺复用带来的成本与交付效率，以及贴近下游扩产节奏的产能响应。整线集成能力方面，东威科技等企业正通过“磁控溅射+水电镀”一体化布局逐步补齐，但基础工艺依赖与整线集成仍是需要持续投入的方向。

常见问题

国产磁控溅射设备目前处于什么位置？

国产设备已基本完成进口替代，行业内新增产能基本都会采购国产磁控溅射设备。腾胜科技处于国产磁控溅射设备市场第一梯队，占据半壁江山，其他厂商起步较晚，技术上仍需磨练。

工艺复用是国产厂商的核心优势吗？

工艺复用是国产厂商快速切入复合集流体环节的重要路径，因为磁控溅射工艺变动不大，其他领域设备稍加改动即可使用。但基础工艺积累与整线集成能力仍是长期竞争的关键，需持续观察后续技术演进。

复合集流体设备环节还有哪些新方向？

除磁控溅射与水电镀外，三孚新科的化学沉积一步法设备已获客户认可并签订战略合作框架协议；道森股份正在布局磁控溅射-蒸镀一体机，已收购深圳洪田并计划投入研发中心建设。这些方向成熟度尚不高，出货量有限。