磁控溅射工艺早在光学工业与电子工业中已获广泛应用，向复合集流体领域拓展时工艺变动不大，其他领域的磁控溅射设备稍加改动即可直接使用——这一工艺复用特性，是设备环节得以从早期进口依赖走向国产切入的关键前提。复合集流体磁控溅射设备的发展，大致经历了“进口主导—跨领域复用—国产替代基本完成”三个阶段，其中磁控卷绕真空镀膜机是核心设备形态。
工艺复用：跨领域平移的基础
磁控溅射并非为复合集流体而生。它在光学工业和电子工业中已积累了大量成熟应用，拓展到复合铜箔领域时工艺变动并不大，因此其他领域的磁控溅射设备稍加改动之后就可以直接使用。正是这种跨领域复用能力，让设备环节不必从零起步，也为其后续的国产切入提供了技术起点。
从进口依赖到国产切入
在复合集流体产业发展初期，磁控溅射设备以进口为主，来源包括应用材料、爱发科等公司。海外企业技术水平领先，设备调试好之后运行比较稳定，但进口设备造价普遍非常昂贵，是国产设备的3倍左右，生产周期也长，后续维护比较难。
随着复合集流体产业发展，国产设备逐渐切入并完成了进口替代。从调研情况看，行业内新增产能基本都会采购国产磁控溅射设备。国内磁控溅射镀膜设备厂家主要集中在广东、安徽地区，包括广东腾胜、广东汇成、合肥东昇等。受制于设备制造工艺难度，各厂家之间技术差距很大。
国产厂商的产能与技术进展
以腾胜科技为例，其拥有二十五年的真空镀膜技术与设备沉淀，主要提供大型磁控溅射设备。公司从2016年开始布局复合铜箔设备，2017年推出国内首台量产型复合铜箔真空镀膜设备，2021年推出的二代机出口到了日本的TDK。目前主力机型为2代机和2.5代机，生产良率可以达到90%，设计产能是行业同类设备的2.5倍。
| 参数 | 2代机 | 2.5代机 |
|---|---|---|
| 膜厚（nm） | 30 | 30 |
| 电阻（Ω） | 2.5 | 2.5 |
| 速度（m/min） | 13 | 20 |
| 单机年产能（万方） | 560 | 1100 |
产品已实现批量出货，客户包括日本TDK、宝明科技、万顺新材等。公司正在加紧扩张产能，新厂区一期工厂完工后产能将增加一倍。
常见问题
磁控溅射设备为什么能较快从其他领域切入复合集流体？
因为磁控溅射工艺在光学工业和电子工业中已有广泛应用，向复合铜箔领域拓展时工艺变动并不大，其他领域的设备稍加改动即可直接使用。这种工艺复用特性降低了设备端的切入门槛，也使国产厂商能够基于既有技术积累快速响应。
复合集流体磁控溅射设备目前国产化情况如何？
产业发展初期以应用材料、爱发科等海外企业设备为主，进口设备造价约为国产设备的3倍，生产周期长、维护较难。随着国产设备逐渐切入，从调研情况看，行业内新增产能基本都会采购国产磁控溅射设备，进口替代已基本完成。
国内磁控溅射设备厂商的竞争格局是怎样的？
国内厂家主要集中在广东、安徽地区，包括广东腾胜、广东汇成、合肥东昇等。受制于设备制造工艺难度，各厂家之间技术差距很大。腾胜科技在磁控溅射领域钻研二十多年，处于国产磁控溅射设备市场的第一梯队，其他厂商起步较晚，技术上仍需磨练。