磁控溅射工艺此前已在光学工业与电子工业中广泛应用，拓展到复合铜箔领域时工艺变动不大，其他领域的磁控溅射设备稍加改动即可直接使用——这正是国产磁控溅射设备能够较快完成进口替代的技术基础。 换言之，工艺复用让国产厂商不必从零起步，是国产切入的关键前提之一；但从近期调研看，行业新增产能已基本采购国产磁控溅射设备，替代的完成还依赖设备企业在真空腔体、靶材与卷绕控制等环节的持续自主化。

工艺复用为什么降低了国产化门槛

磁控溅射设备的核心形态是磁控卷绕真空镀膜机。由于该工艺在光学、电子工业中已有长期应用积累，转向复合铜箔时改动有限，国产设备企业得以在既有技术平台上切入，而不必重建整套工艺体系。

这一路径的现实结果，是国产设备逐步替代了早期以进口为主的供应格局。进口设备造价普遍昂贵，约为国产设备的3倍，生产周期也更长，后续维护难度较大。随着复合集流体产业发展，国产设备凭借性价比优势逐渐成为新增产能的主流选择。

复用之外，仍需自主化的环节

工艺可复用，并不等于设备可以照搬。复合集流体对镀膜均匀性、薄膜传输稳定性提出更高要求，设备企业仍需在真空腔体、靶材与卷绕控制系统等关键环节持续投入。

从竞争格局看，国内磁控溅射镀膜设备厂家主要集中在广东、安徽地区，受设备制造工艺难度影响，各厂家之间技术差距较大。其中腾胜科技在磁控溅射领域有二十多年钻研，是广东省真空卷绕镀膜设备行业标准的牵头制定者之一，处于国产磁控溅射设备市场的第一梯队。该公司自2016年起布局复合铜箔设备，主力机型为2代机和2.5代机，产品已实现批量出货，客户包括日本TDK、宝明科技、万顺新材等。此外，东威科技也引入技术团队开发磁控溅射设备，为客户提供一体化服务。

常见问题

工艺复用是否意味着国产设备没有技术门槛？

并非如此。复用降低了切入难度，但复合集流体对薄膜传输、镀膜均匀性等要求更高，设备企业仍需在真空腔体、靶材与卷绕控制系统上持续自主化，各厂商之间技术差距依然明显。

磁控溅射设备的国产替代进展如何？

从近期调研来看，行业内新增产能基本都会采购国产磁控溅射设备，进口替代已基本完成。早期以应用材料、爱发科等海外企业为主的供应格局，已随国产设备性价比优势的显现而改变。

国产磁控溅射设备厂商主要有哪些？

国内厂家主要集中在广东、安徽地区，包括广东腾胜、广东汇成、合肥东昇等。其中腾胜科技技术沉淀较深，处于第一梯队；东威科技也在布局磁控溅射设备，与水电镀设备形成配套。