大尺寸高纯TCO靶材目前基本由住友、三井等日韩企业主导，国内实现部分突破的企业较少，代表性厂商包括先导薄膜（未上市）、壹纳光电（未上市）与江丰电子（300666 CH）。钙钛矿电池在玻璃基体上层层镀膜，TCO玻璃承担导电功能，其性能直接取决于靶材。钙钛矿用靶材的技术路线主要围绕TCO材料体系选择与在线、离线两类镀膜工艺展开，竞争壁垒则集中在靶材纯度、致密度、大尺寸化以及镀膜工艺的定制化能力上。

技术路线：材料体系与镀膜工艺

TCO是透明导电膜的统称，向下分为高温FTO、中温ITO与低温AZO三类。一般而言，低温导电膜的透过率与导电性优于中温，中温优于高温，性能更好也意味着造价更高。高温FTO的优势在于加热状态下热衰减更慢，因此采用高温工艺制成的薄膜电池（如碲化镉）只能选用FTO。ITO靶材需用到金属铟，该金属较为稀有且具有一定毒性，使用成本更高；FTO与AZO的主要原料分别为锡和锌，相对大众化。

镀膜工艺分为在线与离线。在线镀膜在玻璃熔化状态下同步完成，省去二次加热，成本更低，成膜质量管控也更具优势；离线镀膜先制玻璃再二次加热镀膜，成本更高，但可模块化生产、快速调整参数，在导电性与透过性能上更有优势，产业化初期可能占优。随着产业化推进，在线镀膜的优势将逐渐放大。

竞争壁垒：设备自制与工艺know-how

在线镀膜工艺更复杂，壁垒更高。离线镀膜只要购置PVD设备即可生产；而PVD设备较大且结构复杂，无法直接嫁接在玻璃产线上，在线镀膜只能采用结构更简单的CVD设备。CVD设备并非一站式，需玻璃厂家自行设计再交由代工厂制造，定制化程度更高，对企业know-how的要求也更高。

在靶材环节，大尺寸高纯靶材对纯度、致密度、均匀性等指标要求较高，这正是日韩企业长期占据主导的原因。国内企业需在靶材制备与镀膜工艺的配合上持续突破，方能切入钙钛矿供应链。

常见问题

钙钛矿为什么必须用TCO玻璃？

钙钛矿电池本质上是在玻璃上层层镀膜，玻璃类似晶硅中硅片的角色。与晶硅用玻璃起保护作用不同，钙钛矿所用玻璃需具备导电功能，因此称为TCO玻璃，其导电性来源于所镀的透明导电膜，而膜层性能由靶材决定。

在线与离线镀膜该怎么选？

在线镀膜成本更低、成膜质量管控更好，但工艺复杂、壁垒高，设备需自行设计；离线镀膜可模块化生产、参数调整灵活，导电性与透过性能更有优势，但成本更高。产业化初期离线可能更有优势，随着产业化加快，在线镀膜的优势会逐渐放大。

国内TCO靶材有哪些代表性企业？

国内取得部分突破的公司相对较少，比较有名的有三家：先导薄膜（未上市）、壹纳光电（未上市）以及江丰电子（300666 CH）。此外，金晶科技作为国内外为数不多掌握TCO导电膜玻璃技术且能量产的企业之一，自产品下线以来已与国内部分碲化镉、钙钛矿电池企业建立业务关系并开始供货。