腾胜科技2.5代机以单机年产能1100万方、生产良率90%的指标,将复合集流体磁控溅射设备的设计产能提升至行业同类设备的2.5倍。这一代际差意味着设备环节的竞争格局正在向头部集中:在磁控溅射领域,腾胜科技已占据国产市场半壁江山;在水电镀领域,东威科技是当前唯一量产供应商。两大龙头分别在两步法核心工艺上建立壁垒,行业呈现强者恒强的马太效应趋势。
磁控溅射设备:国产替代完成,龙头优势扩大
磁控溅射设备曾是海外品牌主导,进口设备造价约为国产的3倍,且生产周期长、维护难。随着国产设备切入,行业新增产能已基本转向采购国产设备。国内厂商主要集中在广东、安徽,包括广东腾胜、广东汇成、合肥东昇等,但受制于设备制造工艺难度,各厂家技术差距明显。
腾胜科技拥有二十五年真空镀膜技术沉淀,处于国产磁控溅射设备市场第一梯队,占据半壁江山。公司从2016年布局复合铜箔设备,2017年推出国内首台量产型复合铜箔真空镀膜设备,2021年推出的二代机出口至日本TDK。目前主力机型为2代机和2.5代机,2.5代机在镀膜速度(20m/min)和单机年产能(1100万方)上较2代机显著提升,生产良率达90%。公司已批量出货,客户包括日本TDK、宝明科技、万顺新材等。
水电镀设备:东威科技独家量产,一体化布局加速
复合铜箔水电镀设备与传统PCB电镀设备有根本差异,需采用水平电镀工艺,基材更薄、幅宽更宽,工艺难度大幅提升。目前能够供应复合铜箔水电镀设备的厂商只有东威科技。公司凭借在PCB电镀领域的技术积累,发明了无张力同步传输、电流均匀传导等关键技术,解决了复合铜箔易拉伸变形、电镀不均匀等痛点。
东威科技的双边夹卷式水平镀膜设备良率可达90%以上,已获得批量订单。公司还在磁控溅射设备上引入新技术团队,为客户提供一体化服务,首台磁控溅射设备已出货。凭借PCB电镀与复合铜箔设备产能的灵活切换,东威科技具备较强的产能弹性。
其他技术路线:尚处早期,静待验证
除两步法外,其他工艺成熟度尚不高。三孚新科推出化学沉积一步法,已获智动力约3.2亿元设备采购框架协议;道森股份正布局磁控溅射-蒸镀一体机,计划推出样机。这些路线能否规模化放量,仍需后续验证。
常见问题
腾胜科技2.5代机相比2代机提升有多大?
2.5代机在镀膜速度上从13m/min提升至20m/min,单机年产能从560万方提升至1100万方,膜厚和电阻指标保持一致,生产良率达到90%。设计产能为行业同类设备的2.5倍。
复合集流体设备行业会形成寡头垄断吗?
从当前格局看,两步法两大核心环节——磁控溅射和水电镀——分别由腾胜科技和东威科技主导,技术代际差距和客户验证进度构成了较高的进入壁垒。但设备行业的技术迭代和下游扩产节奏仍可能带来变数,最终格局需结合后续订单和产能释放情况观察。
国产设备与进口设备的差距如何?
在磁控溅射领域,国产设备已完成进口替代,新增产能基本采购国产设备。国产设备的核心优势在于性价比——进口设备造价约为国产的3倍,且生产周期长、维护难。在性能稳定性上,海外企业仍有一定积累,但国产龙头通过持续迭代正在缩小差距。