复合集流体国产设备正在快速崛起，以腾胜科技为代表的国产真空镀膜设备厂商通过产能扩张和技术突破，有力推动了复合集流体领域的国产替代进程。目前，行业新增产能已基本转向采购国产磁控溅射设备，国产设备在性能、价格和服务方面展现出显著竞争力。
国产磁控溅射设备的替代进展
在复合集流体产业发展初期，磁控溅射设备以进口为主，来源包括应用材料、爱发科等公司。但进口设备造价普遍非常昂贵，是国产设备的3倍左右，生产周期长且后续维护困难。随着产业发展，国产设备逐渐切入并完成了进口替代——从近期调研来看，行业新增产能已基本采购国产磁控溅射设备。
国产设备的核心优势在于高性价比：价格仅为进口设备的约三分之一，且供货周期短、本地化服务响应快。腾胜科技等龙头企业的设备在性能上已达到国际先进水平，生产良率可达90%，设计产能是行业同类设备的2.5倍。
腾胜科技：产能扩张与市场地位
腾胜科技拥有25年真空镀膜技术与设备沉淀，处于国产磁控溅射设备市场第一梯队，占据了半壁江山。公司从2017年推出国内首台量产型复合铜箔真空镀膜设备，到2021年二代机出口至日本TDK，技术实力获国际认可。
在产能方面，腾胜科技正在快速扩张：新厂区一期工厂完工后产能将增加一倍至每年35台左右，到2023年底产能将进一步扩张到每年60台。公司主力机型为2代机和2.5代机，其中2.5代机生产速度达20m/min，单机年产能1100万方，性能优势突出。产品已批量出货给日本TDK、宝明科技、万顺新材等客户。
国产替代的瓶颈与突破方向
虽然磁控溅射设备国产替代已基本完成，但复合集流体设备的国产化仍面临一些挑战。水电镀设备方面，复合铜箔用的水平电镀设备是全新设备，目前仅有东威科技能够量产，其通过无张力同步传输、电流均匀传导等关键技术解决了超薄基材易变形、电镀不均匀等痛点。
国产替代的进一步突破方向包括：提升核心零部件的自主可控水平，以及推动磁控溅射-蒸镀一体机等新设备的研发落地。例如，道森股份正在布局磁控溅射-蒸镀一体机，预计样机将在后续推出。
常见问题
国产磁控溅射设备与进口设备相比，价格优势有多大？
进口设备造价是国产设备的3倍左右，国产设备在价格、供货周期和后续维护方面均具有明显优势。
腾胜科技的设备主要客户有哪些？
腾胜科技产品已实现批量出货，客户包括日本TDK、宝明科技、万顺新材等国内外知名企业。
复合集流体水电镀设备国产化进展如何？
复合铜箔水电镀设备属于全新设备，目前仅有东威科技能够量产，其已获得批量订单，并同步布局磁控溅射设备以提供一体化服务。