复合集流体国产替代正在加速推进，磁控溅射设备已基本实现国产化，龙头腾胜科技占据国内半壁江山，而水电镀设备目前仅有东威科技能够量产，国产自主可控水平显著提升。
磁控溅射设备：国产替代基本完成
磁控溅射设备是复合铜箔两步法工艺的核心设备之一。历史上，该设备以进口为主，来源包括应用材料、爱发科等海外企业，进口设备造价约为国产设备的3倍，且生产周期长、维护难度大。随着复合集流体产业发展，国产设备逐渐切入并完成进口替代，目前行业新增产能基本采购国产设备。
国内磁控溅射设备厂家主要包括广东腾胜、广东汇成、合肥东昇等。其中，腾胜科技技术沉淀深厚，处于国产磁控溅射设备市场第一梯队，占据了半壁江山。腾胜科技拥有二十五年真空镀膜技术沉淀，2017年推出国内首台量产型复合铜箔真空镀膜设备，2021年推出的二代机出口至日本TDK。公司主力机型为2代机和2.5代机，生产良率可达90%，设计产能为行业同类设备的2.5倍。
水电镀设备：东威科技实现独家量产
水电镀设备是两步法的另一关键环节。复合铜箔水电镀设备采用水平电镀工艺，与传统PCB垂直电镀差异显著，基材厚度降低、幅宽增加，工艺难度大幅提升，基本属于全新设备。
目前，能够供应复合铜箔水电镀设备的厂商只有东威科技。东威科技凭借在PCB电镀领域的技术积累，发明了无张力同步传输、电流均匀传导等关键技术，解决了复合铜箔易拉伸变形、电镀不均匀等痛点。公司产品已获得批量订单，其中双边夹卷式水平镀膜设备良率可达90%以上。此外，东威科技还引入了新的技术团队开发磁控溅射设备，为客户提供一体化服务。
其他设备：新路线逐步落地
除主流两步法外，化学沉积一步法设备也有进展。三孚新科推出“一步式”全湿法化学镀铜设备，已获得客户认可。道森股份正在布局磁控溅射-蒸镀一体机，计划推出样机。
常见问题
腾胜科技在复合集流体设备领域处于什么地位？
腾胜科技是国内磁控溅射设备的龙头企业。公司拥有二十五年真空镀膜技术积淀，2017年推出国内首台量产型复合铜箔真空镀膜设备，产品出口至日本TDK，处于国产磁控溅射设备市场第一梯队，占据半壁江山。
复合铜箔水电镀设备目前只有哪家公司能够量产？
目前，能够量产复合铜箔水电镀设备的厂商只有东威科技。该公司凭借在PCB电镀领域的技术积累，成功开发了适用于复合铜箔的水平电镀设备，并已获得大批量订单。
复合集流体设备的国产化率如何？
磁控溅射设备已基本完成国产替代，新增产能主要采购国产设备。水电镀设备目前仅有东威科技能够量产。其他新路线设备如化学镀铜设备、磁控溅射-蒸镀一体机等仍在布局或初期出货阶段。整体来看，复合集流体核心设备的国产自主可控水平较高，但部分环节仍有提升空间。