在复合集流体真空镀膜设备领域,海外厂商起步较早、技术积累深厚,但中国设备商已借助本土电池产业链快速追赶,其中腾胜科技凭借二十五年真空镀膜技术沉淀和量产型设备切入,处于国产磁控溅射设备市场的第一梯队。整体格局呈现“海外先发、国产替代加速”的特征:磁控溅射设备早期以进口为主,如今国产产品已基本完成进口替代;水电镀设备则因工艺变革较大,目前仅东威科技能够供应。

全球格局:海外先发,国产追赶

磁控溅射工艺此前已在光学工业和电子工业中广泛应用,拓展至复合铜箔领域时工艺变动不大,海外企业技术成熟、设备运行稳定,因此产业发展初期磁控溅射设备以进口为主,来源包括应用材料、爱发科等公司。但进口设备造价普遍昂贵,约为国产设备的3倍,生产周期长、后续维护难度也较大。

随着复合集流体产业发展,国产设备逐渐切入并完成进口替代。从调研情况看,行业内新增产能基本都会采购国产磁控溅射设备。国内磁控溅射镀膜设备厂家主要集中在广东、安徽地区,包括广东腾胜、广东汇成、合肥东昇等,但受制于设备制造工艺难度,各厂家之间技术差距很大。

中国设备商的本土配套优势

中国设备商的核心优势在于贴近本土电池产业链,能够快速响应下游扩产需求。以腾胜科技为例,公司拥有二十五年真空镀膜技术与设备沉淀,主要提供大型磁控溅射设备;2016年开始布局复合铜箔设备,2017年推出国内首台量产型复合铜箔真空镀膜设备,2021年推出的二代机出口至日本TDK。目前主力机型为2代机和2.5代机,产品已实现批量出货,客户包括日本TDK、宝明科技、万顺新材等。

参数2代机2.5代机
膜厚(nm)3030
电阻(Ω)2.52.5
速度(m/min)1320
单机年产能(万方)5601100

在产能布局上,腾胜科技新厂区一期工厂完工后产能将增加一倍,后续还将进一步扩张,以应对下游复合铜箔大规模扩产带来的设备需求。

标准参与与国际话语权

技术实力之外,标准制定权也是国际竞争的重要维度。腾胜科技的专家是广东省真空卷绕镀膜设备行业标准的牵头制定者之一,这一身份意味着中国设备商正从产品输出向规则参与延伸,有助于提升在全球复合集流体设备领域的话语权。

常见问题

复合集流体真空镀膜设备目前国产化程度如何?

磁控溅射设备已基本完成进口替代,行业内新增产能基本采购国产设备;水电镀设备因复合铜箔用水平电镀与传统垂直电镀差异较大,工艺改动大,目前仅东威科技能够供应。

腾胜科技在国产磁控溅射设备中处于什么位置?

腾胜科技在磁控溅射领域钻研二十多年,技术沉淀深厚,处于国产磁控溅射设备市场的第一梯队,占据半壁江山,其他厂商起步较晚,与其存在一定差距。

中国设备商参与行业标准制定有何意义?

以腾胜科技专家参与牵头制定广东省真空卷绕镀膜设备行业标准为例,参与标准制定有助于中国设备商从产品供应向行业规则参与延伸,增强在全球竞争中的话语权。