复合集流体磁控溅射设备早期以应用材料、爱发科等进口品牌为主，进口设备造价约为国产设备的3倍，且生产周期长、后续维护难度大。腾胜科技深耕真空镀膜技术与设备二十五年，从光学工业、电子工业的磁控溅射应用延伸至复合铜箔领域，其关键拐点包括：2016年开始布局复合铜箔设备，2017年推出国内首台量产型复合铜箔真空镀膜设备，2021年推出的二代机出口至日本TDK。 从行业调研来看，当前新增产能基本都会采购国产磁控溅射设备，磁控溅射设备的进口替代已基本完成。
进口垄断期的痛点
磁控溅射工艺此前已在光学工业和电子工业中广泛应用，拓展到复合铜箔领域时工艺变动不大，其他领域的设备稍加改动即可使用。海外企业技术水平领先，设备调试好后运行较稳定，因此复合集流体产业发展初期，磁控溅射设备以进口为主，来源包括应用材料、爱发科等公司。
但进口设备造价普遍非常昂贵，是国产设备的3倍左右，生产周期也长，同时后续维护比较难。随着复合集流体产业发展，国产设备逐渐切入并完成进口替代。
腾胜科技的关键拐点
国内磁控溅射镀膜设备厂家主要集中在广东、安徽地区，受制于设备制造工艺难度，各厂家之间技术差距很大。腾胜科技在磁控溅射领域钻研二十多年，技术沉淀深厚，其专家是广东省真空卷绕镀膜设备行业标准的牵头制定者之一，处于国产磁控溅射设备市场的第一梯队。
腾胜科技拥有二十五年的真空镀膜技术与设备沉淀，主要提供大型磁控溅射设备。关键节点上，公司从2016年开始布局复合铜箔设备，2017年推出国内首台量产型复合铜箔真空镀膜设备，2021年推出的二代机出口到了日本TDK。目前主力机型为2代机和2.5代机。
| 参数 | 2代机 | 2.5代机 |
|---|---|---|
| 膜厚（nm） | 30 | 30 |
| 电阻（Ω） | 2.5 | 2.5 |
| 速度（m/min） | 13 | 20 |
| 单机年产能（万方） | 560 | 1100 |
产品已实现批量出货，客户包括日本TDK、宝明科技、万顺新材等。公司正加紧扩张产能，新厂区一期工厂完工后产能将增加一倍。
常见问题
复合集流体磁控溅射设备目前国产化程度如何？
从行业调研来看，当前新增产能基本都会采购国产磁控溅射设备，磁控溅射设备的进口替代已基本完成。腾胜科技处于国产磁控溅射设备市场的第一梯队。
腾胜科技在复合铜箔设备领域有哪些关键节点？
腾胜科技拥有二十五年真空镀膜技术与设备沉淀，2016年开始布局复合铜箔设备，2017年推出国内首台量产型复合铜箔真空镀膜设备，2021年推出的二代机出口至日本TDK。
腾胜科技的主力机型有哪些？
目前主力机型为2代机和2.5代机。2.5代机速度达20m/min，单机年产能1100万方；2代机速度为13m/min，单机年产能560万方，两者膜厚均为30nm、电阻均为2.5Ω。