腾胜科技(广东腾胜)在复合集流体磁控溅射设备领域完成国产替代,靠的是二十余年真空镀膜技术沉淀与量产先发优势。 早期复合集流体产业磁控溅射设备以进口为主,来源包括应用材料、爱发科等海外厂商,进口设备造价约为国产设备的3倍,生产周期长、后续维护难度也大。随着产业发展,国产设备逐步切入并完成进口替代,目前行业内新增产能基本都会采购国产磁控溅射设备;腾胜科技处于国产磁控溅射设备市场第一梯队,占据半壁江山。
国产替代是怎么发生的
磁控溅射工艺此前已在光学工业、电子工业广泛应用,拓展到复合铜箔领域工艺变动不大,其他领域的设备稍加改动即可使用。这为国产厂商切入提供了技术基础。
真正的推力来自成本与交付:进口设备造价约为国产设备的3倍,生产周期长,后续维护也比较难。复合集流体产业扩产后,国产设备凭借高性价比逐步完成替代。
腾胜科技的技术与产品积累
腾胜科技拥有二十五年真空镀膜技术与设备沉淀,主要提供大型磁控溅射设备,其专家是广东省真空卷绕镀膜设备行业标准的牵头制定者之一。公司在磁控溅射领域钻研二十多年,技术沉淀深厚,因此处于国产市场第一梯队。
产品节奏上,公司从2016年开始布局复合铜箔设备,2017年推出国内首台量产型复合铜箔真空镀膜设备,2021年推出的二代机出口到日本TDK。目前主力机型为2代机和2.5代机,生产良率可达90%,设计产能为行业同类设备的2.5倍。
| 参数 | 2代机 | 2.5代机 |
|---|---|---|
| 膜厚(nm) | 30 | 30 |
| 电阻(Ω) | 2.5 | 2.5 |
| 速度(m/min) | 13 | 20 |
| 单机年产能(万方) | 560 | 1100 |
产品已实现批量出货,客户包括日本TDK、宝明科技、万顺新材等。国内磁控溅射镀膜设备厂家主要集中在广东、安徽地区,包括广东腾胜、广东汇成、合肥东昇等,受制于设备制造工艺难度,各厂家之间技术差距较大,其他厂商起步较晚,技术上仍需磨练。
常见问题
腾胜科技为什么能在磁控溅射设备上实现国产替代?
一是真空镀膜领域的技术沉淀时间长,公司拥有二十五年真空镀膜技术与设备沉淀;二是切入早,2017年就推出国内首台量产型复合铜箔真空镀膜设备,并持续迭代到2代机、2.5代机。叠加进口设备造价约为国产3倍、交付与维护成本高,国产设备在新增产能中成为主流选择。
腾胜科技目前的行业位置如何?
腾胜科技处于国产磁控溅射设备市场第一梯队,占据半壁江山,客户涵盖日本TDK、宝明科技、万顺新材等,产品已实现批量出货。行业内新增产能基本都会采购国产磁控溅射设备。
复合集流体磁控溅射设备的技术路线是否已经定型?
磁控溅射与水电镀组成的两步法已比较成熟,是当下的主流技术路线。磁控溅射设备环节的进口替代已基本完成,国产厂商之间的技术差距仍然存在,具体设备性能与良率表现建议以厂商公开信息及第三方实测为准。