国产复合集流体设备在效率上已具备全球竞争力,以腾胜科技2.5代机为代表的国产磁控溅射设备,其20m/min的运行速度与1100万方的单机年产能,已处于行业同类设备的领先水平,但这并不意味着全球设备市场格局已彻底重塑——更准确的说法是,中国设备商正凭借性价比与技术迭代,从“进口替代”走向“全球供应”,在全球供应链中的话语权显著提升

国产设备的效率坐标:从追赶到并跑

在复合集流体两步法(磁控溅射+水电镀)的主流工艺中,磁控溅射设备曾是海外品牌的天下。资料显示,复合集流体产业发展初期,设备以进口为主,来源包括应用材料、爱发科等公司,但进口设备造价普遍是国产设备的3倍左右,且生产周期长、维护难度大。

国产设备的破局点在于效率与性价比的同步提升。以处于国产磁控溅射设备市场第一梯队、占据半壁江山的腾胜科技为例,其主力机型2代机与2.5代机的关键参数对比如下:

参数2代机2.5代机
膜厚 (nm)3030
电阻 (Ω)2.52.5
速度 (m/min)1320
单机年产能 (万方)5601100

从13m/min到20m/min的迭代,带来的是单机年产能从560万方跃升至1100万方——2.5代机的设计产能达到行业同类设备的2.5倍,同时生产良率可达90%。这种“速度+产能+良率”的组合,正是国产设备切入全球供应链的核心竞争力所在。

全球格局之变:中国设备商的角色升级

全球设备市场格局的变化,体现在两个层面。

一是磁控溅射设备的进口替代已基本完成。 资料显示,从最近的调研来看,行业内的新增产能基本上都会采购国产的磁控溅射设备。这意味着在增量市场,中国设备商已成为主导力量。

二是国产设备开始反向输出。 腾胜科技2021年推出的二代机已出口至日本的TDK,产品实现批量出货,客户包括日本TDK、宝明科技、万顺新材等。这一案例表明,中国复合集流体设备已具备进入日韩等高端电池产业链的能力。

不过,全球设备市场并非单一格局。在复合铜箔水电镀设备这一细分领域,目前能够供应设备的厂商只有东威科技一家,其双边夹式设备良率可达90%以上,且已获得批量订单。这意味着在两步法的不同环节,中国设备商均占据了关键卡位。

常见问题

腾胜科技20m/min的速度在全球处于什么水平?

20m/min是腾胜科技2.5代机的运行速度,其单机年产能达1100万方,为行业同类设备的2.5倍。这一效率水平体现了国产磁控溅射设备的技术成熟度,但全球范围内不同厂商设备的实时参数对比,需以各家官方披露及第三方实测数据为准。

中国设备商能否参与欧洲、日韩电池厂的扩产?

具备参与能力,且已有实际案例。 腾胜科技的二代机已出口至日本TDK,说明国产设备在性能与稳定性上已通过国际客户的验证。随着全球电池厂扩产推进,具备效率与性价比优势的中国设备商有望获得更多参与机会,具体份额变化取决于各家设备商的交付能力与客户拓展进度。

全球复合集流体设备市场格局是否已被中国主导?

在磁控溅射设备领域,国产设备已完成进口替代,新增产能基本采购国产设备;在复合铜箔水电镀设备领域,东威科技是目前唯一供应商。 但全球存量设备市场及不同技术路线(如一步法、蒸镀一体机等)的竞争格局仍在动态演变中,尚不宜简单断言“已被中国主导”,更准确的说法是中国设备商已从追随者转变为重要的全球供给方。