薄膜沉积设备厂商的收入模式主要分为一次性的设备销售和持续性的备件更换及技术服务两部分。其中，设备销售通常占总收入的70%-80%，而备件更换和技术服务贡献剩余 20%-30%。在成熟品类中，由于设备保有量大、耗材更换频繁，备件服务的收入占比会更高。这种“设备+服务”的商业模式，使得设备厂商在首次销售后，仍能通过长期服务获取稳定的现金流，并加深与晶圆厂的绑定。
收入结构：设备销售与备件服务并行
设备厂商的典型收入结构是：首次设备销售贡献主要营收，而备件和技术服务则提供持续的收入来源。对于薄膜沉积设备而言，备件收入主要来自反应腔体、射频电源、真空泵、气体分配系统等易损件的更换，以及定期的设备维护和技术支持。在成熟品类中，如PECVD，由于设备装机量大、工艺稳定，备件服务的收入占比会显著高于新兴品类。
产业链价值分配：上游零部件与设备厂商利润较高
在薄膜沉积设备的产业链中，价值分配呈现明显的梯度。上游核心零部件供应商（如射频电源、真空泵、气体流量控制器等）通常享有较高的毛利率，因为这些部件技术壁垒高、认证周期长。设备厂商自身的毛利率一般在40%-50%左右，这反映了其整合设计、系统集成和售后服务的能力。下游晶圆厂（如长江存储、华虹集团）作为终端用户，通过大规模采购和设备国产化来压低采购成本，但设备厂商凭借技术壁垒和长期服务关系，仍能维持较强的议价能力。
不同品类的服务收入差异：PECVD与ALD对比
不同品类的薄膜沉积设备在服务收入上存在差异。PECVD是市场中占比最大的品类，份额约为33%，技术成熟、应用广泛，设备保有量大，因此其备件更换和技术服务的收入占比相对更高。而ALD虽然需求增长最快（被视为“兵家必争之地”），但当前市场份额仅为11%，且技术先进、工艺复杂，其服务收入更多来自高附加值的技术支持和定制化维护，而非高频次的备件更换。总体而言，成熟品类的服务收入更依赖“量”，而先进品类的服务收入更依赖“质”。
常见问题
设备厂商的备件服务收入具体来自哪些环节？
备件服务收入主要来自反应腔体、射频电源、真空泵、气体分配系统、加热器等关键易损件的定期更换，以及设备定期维护、故障诊断和工艺优化等技术服务。
为什么设备厂商的毛利率能维持在40%-50%？
设备厂商的毛利率较高，主要源于其整合了系统设计、精密制造、工艺验证和全生命周期服务的能力。同时，薄膜沉积设备技术壁垒高、客户认证周期长，这为先行者构筑了较强的护城河。
国产设备厂商在产业链中处于什么位置？
以拓荆科技和北方华创为代表的国产设备厂商，已在PECVD和溅射PVD等细分品类实现产业化突破。拓荆科技是国内唯一实现PECVD产业化的厂商，产品覆盖180-14nm逻辑芯片及3D NAND；北方华创在溅射PVD领域优势明显，产品覆盖90-14nm制程。两家公司在ALD领域均有布局，国产化率正在逐步提升。