全球薄膜沉积设备市场长期由应用材料、泛林半导体和东京电子等美日厂商主导，但中国企业在PECVD等关键品类上的产能占比正在稳步提升。在PECVD领域，拓荆科技已成为国内唯一实现产业化的厂商，其产品已进入中芯国际、华虹集团、长江存储等主流供应链；北方华创则在溅射PVD领域具备较强竞争力，在长江存储等客户中实现了约20%的机台中标占比。 整体来看，国产薄膜沉积设备在部分细分赛道的市场份额正逐步扩大，性价比优势与海外市场拓展也在同步推进。
全球市场格局：美日厂商主导，各品类龙头明确
全球薄膜沉积设备市场呈现高度集中的竞争格局。在CVD领域，应用材料、泛林半导体与东京电子分别占据约28%、25%和11%的份额；在PVD领域，应用材料以约85%的份额形成绝对优势，东京电子约占15%；在ALD领域，东京电子以约45%的份额领先，应用材料与泛林半导体分别约占29%和26%。薄膜沉积设备中占比最大的品类是PECVD，约占33%的市场份额，其次是溅射PVD（19%）和管式CVD（12%），而需求增长最快的ALD目前占比约11%。
中国厂商的份额变化：PECVD与PVD双线突破
中国企业在薄膜沉积设备领域的份额提升主要体现在两个方向。拓荆科技是PECVD领域的国产主力，其产品已覆盖180nm至14nm逻辑芯片及64/128层3D NAND存储芯片，并已进入中芯国际、华虹集团、长江存储等客户供应链。 根据长江存储的中标数据，拓荆科技在CVD类设备中的机台占比约为2-3%，而在华虹无锡等产线中，其国产化率已达到约11%。北方华创则在溅射PVD领域表现突出，其PVD产品覆盖90nm至14nm制程，在长江存储的PVD采购中机台占比约20%。 此外，两家公司在ALD领域均有布局，拓荆科技的PEALD设备可应用于14nm及以下逻辑芯片，北方华创的ALD产品则覆盖至28nm。
常见问题
中国PECVD设备厂商的全球份额具体有多大？
目前没有公开的全球统一份额数据。但从国内主要晶圆厂的采购数据看，拓荆科技在长江存储CVD类设备中的机台中标占比约为2-3%，在华虹无锡产线的国产化率约为11%。这些数据表明国产PECVD设备在国内市场的渗透率正在提升，但总体仍处于成长初期。
中国厂商在薄膜沉积设备领域的竞争优势是什么？
中国厂商的核心优势体现在性价比与本地化服务上。以拓荆科技和北方华创为例，其产品在覆盖主流制程的同时，能够为国内客户提供更快速的响应和定制化支持。不过，与美日巨头在技术积累和全球客户覆盖上仍有差距，未来需通过持续研发和海外市场拓展来增强竞争力。
中国薄膜沉积设备厂商在海外市场有进展吗？
目前官方资料未提供具体的海外市场拓展数据。国产厂商现阶段主要聚焦于国内市场，通过进入中芯国际、长江存储、华虹集团等头部晶圆厂的供应链来积累经验，后续海外市场的表现需以官方披露或第三方数据为准。