在长江存储的薄膜沉积设备采购中，沈阳拓荆与北方华创的合计中标份额约为7%（以机台数量计算），其中沈阳拓荆约为3%，北方华创约为4%。这一数据反映出国产薄膜沉积设备在主流存储产线的渗透率仍处于极低水平，但政策正通过资本注入、风险分担与采购激励，加速国产设备的导入进程。
大基金的战略投资布局
国家集成电路产业投资基金（大基金）是推动国产设备进入产线的关键力量。以拓荆科技为例，大基金是其第一大股东，持股比例达19.86%；北方华创同样获得了大基金的重点投资。通过资本绑定，大基金不仅为设备厂商提供了研发与扩产的资金支持，也间接降低了晶圆厂采购国产设备时的决策顾虑，形成了“资本-设备-客户”的联动闭环。
政府采购首台套政策的破冰作用
国产设备在进入量产线前，面临的最大障碍是晶圆厂对良率与工艺稳定性的担忧。政府采购首台套政策通过给予首批用户风险补偿与补贴，有效降低了晶圆厂“第一个吃螃蟹”的风险。例如，在长江存储、华虹无锡等产线中，沈阳拓荆与北方华创的设备能够获得验证机会，正是这类政策推动的结果。华虹无锡2020年的数据显示，沈阳拓荆的薄膜设备国产化率已达到11%，北方华创为7%，均高于长江存储同期水平，说明政策在不同客户处的落地效果存在差异。
良率与工艺验证仍是核心瓶颈
尽管政策提供了外部推力，但国产设备在薄膜沉积领域的技术门槛依然较高。以关键的ALD（原子层沉积）设备为例，拓荆科技的PEALD产品可覆盖14nm及以下逻辑芯片，而北方华创的ALD设备技术节点主要覆盖至28nm。在实际产线中，晶圆厂对设备的一致性与膜厚控制精度要求极为严苛，国产设备仍需通过大量工艺验证来证明其稳定性和良率表现，这是替代国际巨头（如应用材料、东京电子）的关键挑战。
常见问题
长江存储薄膜沉积设备的国产化率具体是多少？
根据中标数据，沈阳拓荆在长江存储的薄膜设备中标份额约为3%，北方华创约为4%，合计约7%（以机台数量计算）。需注意，这一数据不含无法分类的沉积设备，且不同年份的国产化率有所波动。
大基金是如何支持薄膜沉积设备国产化的？
大基金通过直接持股方式深度绑定国产设备厂商，例如持有拓荆科技19.86%的股份。这种资本注入不仅为厂商提供研发资金，也增强了晶圆厂对国产设备的信任度，加速产品进入量产验证环节。
国产薄膜沉积设备与进口设备的主要差距在哪里？
主要差距集中在工艺验证的广度与深度。例如，国产ALD设备在先进制程（如14nm以下）的覆盖率仍有限，且需要在产线中长期积累数据以证明其良率与可靠性，在高端应用场景中与国际巨头仍有技术代差。