车载光学收发模块合计占激光雷达 BOM(物料清单)的 60%,其中发射模块和接收模块各占 30%,是激光雷达中价值量最高的核心部件。其技术壁垒主要体现在 激光器芯片的功率与光束质量、探测器芯片的灵敏度与阵列规模,以及光学封装工艺的精度与可靠性 上。
发射模块:激光器芯片的工艺壁垒
发射模块的核心是激光器芯片,主流技术路线分为 EEL(边发射激光器) 和 VCSEL(垂直腔面发射激光器)。VCSEL 因其制作工艺与主流半导体工艺兼容,后道工序成本较 EEL 低一倍以上,逐渐成为产业主导趋势。关键技术难点在于 多结 VCSEL 芯片的堆叠设计,通过堆叠激光器可弥补单结 VCSEL 功率较低的短板,但这需要极高的外延生长和芯片封装精度。此外,不同波长(如 905nm 与 1550nm)的激光器材料成本差异显著:1550nm 激光器使用磷化铟(InP)衬底,而 905nm 使用更成熟的砷化镓(GaAs),前者在衬底和外延成本上远高于后者,这也是 905nm 成为当前主流波长的重要原因。
接收模块:探测器芯片的性能门槛
接收模块的核心是探测器芯片,需与激光器波长匹配。在 905nm 波段,SPAD(单光子雪崩光二极管)和 SiPM(硅光电倍增管) 因灵敏度高而更具优势,但易受强光干扰。探测器芯片的关键参数包括 SPAD 阵列规模 和 暗计数率——阵列规模越大,分辨率越高,但对工艺一致性和噪声抑制的要求也越严苛;暗计数率越低,信噪比越好,这需要先进的材料生长和器件设计能力。在 1550nm 波段,受硅材料限制,只能使用 APD(雪崩光二极管),其工艺成熟度和成本控制是另一道壁垒。
光学封装:从芯片到模组的工程挑战
收发模块的最终性能高度依赖 光学封装 工艺。发射端需要将 VCSEL 或 EEL 芯片与透镜、光纤等光学元件精确耦合,实现高光束质量和低损耗传输;接收端则需将探测器芯片与微透镜阵列对准,以最大化光收集效率。多结 VCSEL 的散热管理、光纤耦合的精度控制、以及车规级可靠性(耐温、抗振)是封装环节的核心难点。这些工艺需要长期的经验积累和定制化设备投入,构成后发厂商难以短期跨越的工程壁垒。
常见问题
为什么 905nm 是当前激光雷达的主流波长?
905nm 激光器基于成熟的砷化镓(GaAs)材料体系,产业链基础扎实,性价比显著优于 1550nm。1550nm 虽在探测距离和人眼安全方面更有优势,但其使用的磷化铟(InP)材料成本较高,限制了大规模普及。
VCSEL 相比 EEL 的核心优势是什么?
VCSEL 的制作工艺与主流半导体工艺完全兼容,无需像 EEL 那样在晶圆切割后进行侧面处理和镀膜,后道工序成本至少低一倍以上。同时,VCSEL 可通过堆叠多个激光器来提升功率,弥补传统单结 VCSEL 的功率短板。
探测器芯片的技术难点在哪里?
在 905nm 波段,SPAD 和 SiPM 探测器对灵敏度要求极高,但易受强光干扰,需要优化阵列规模和暗计数率来提升信噪比;在 1550nm 波段,只能使用 APD,其材料(如 InP)和工艺门槛较高。此外,探测器芯片与光学元件的封装对准精度直接影响整体接收效率。