从长江存储近年薄膜沉积设备的采购与中标数据看，国产设备在溅射PVD领域已具备较强竞争力，但在CVD和ALD领域仍处于突破初期，整体产业链国产化率仍较低。以长江存储为例，北方华创在溅射PVD细分设备中的中标占比可达20%左右，而CVD类设备的国产供应商主要是拓荆科技，总占比约2-3%，ALD领域国产设备尚未形成规模替代。

国产设备在长江存储的渗透情况

从长江存储的采购数据来看，PVD设备的采购量在2019年和2020年分别达到14台和13台，而同期北方华创的中标数量为2019年1台、2020年4台。按机台数量计算，北方华创在长江存储薄膜设备中的国产化率在2020年达到4%左右，沈阳拓荆同期约为3%。

在CVD领域，长江存储的采购量明显更大，2019年和2020年分别采购192台和173台，但国产设备占比极低。拓荆科技作为国内PECVD领域唯一实现产业化的厂商，在长江存储的中标数量为2019年4台、2020年3台，对应国产化率约为4%和3%。ALD方面，长江存储2020年采购82台，但国产厂商尚未形成有效中标记录。

国产厂商的技术布局与定位

北方华创的优势集中在溅射PVD领域，其PVD产品覆盖90-14nm多个制程工艺，已推出多款产品应用于集成电路和功率半导体领域。在ALD方向，北方华创产品技术节点覆盖至28nm。

拓荆科技的核心竞争力在PECVD领域，是国内唯一实现PECVD设备产业化的厂商，产品工艺覆盖180-14nm逻辑芯片以及64层和128层3D NAND存储芯片。其PEALD设备在国内处于领先地位，可应用于14nm及以下逻辑芯片。

两家公司在ALD领域均有布局，但技术节点和产业化进度存在差异，整体来看，国产薄膜沉积设备在先进制程和高端存储领域仍有较大提升空间。

其他产线的国产化参考

除长江存储外，华虹无锡和华力集成的薄膜沉积设备国产化率相对更高。华虹无锡2020年北方华创中标占比为7%、沈阳拓荆为11%；华力集成2020年北方华创占比达10%、沈阳拓荆为5%。整体来看，国内主流产线的薄膜沉积设备国产化率总体在10%左右。

常见问题

国产薄膜沉积设备在哪些领域进展最快？

溅射PVD是当前国产替代进度最快的细分领域，北方华创在长江存储的PVD中标占比可达20%左右。CVD领域虽有拓荆科技实现PECVD产业化，但整体国产化率仍处于较低水平。

ALD设备国产化进展如何？

ALD被视为薄膜沉积领域“兵家必争之地”，全球市场主要由东京电子、应用材料等国际巨头垄断。拓荆科技和北方华创均有ALD产品布局，分别覆盖14nm和28nm技术节点，但距离大规模产业化应用仍有距离。

薄膜沉积设备国产化率整体处于什么水平？

从长江存储、华虹无锡、华力集成等主流产线的中标数据看，国产薄膜沉积设备的机台数量占比总体在10%左右，其中PVD领域国产化进展相对领先，CVD和ALD领域仍高度依赖进口。