中微公司大马士革刻蚀进入市场后,全球CCP设备龙头格局是否会被改写?短期内全球CCP设备市场仍由拉姆研究、东京电子主导,但中微公司补齐大马士革刻蚀短板后,其CCP产品版图趋于完整,将在先进制程领域与两大龙头展开正面竞争,全球格局存在重塑的可能。

全球CCP刻蚀市场现状

刻蚀设备市场高度集中,拉姆研究、东京电子、应用材料三大巨头合计占据全球干法刻蚀市场约九成份额。在CCP(电容性等离子体刻蚀)这一细分领域,主要玩家为拉姆研究、东京电子和中微公司。

中微公司是国产刻蚀设备的代表性企业,其CCP产品覆盖65nm至5nm制程,并已进入台积电7nm和5nm产线,是唯一进入台积电供应链的国产刻蚀设备厂商。在中国大陆市场,中微公司的刻蚀设备份额已达到20%,仅次于拉姆研究的52%。

中微公司的攻守态势

中微公司在CCP领域的传统优势在于介质刻蚀,但此前存在两大短板:用于逻辑芯片的大马士革刻蚀,以及用于3D存储芯片的高深宽比刻蚀,这两块市场长期由国外设备公司垄断。

据官方信息,中微公司的大马士革刻蚀产品开发已接近完成,初步Demo结果良好,很快将进入市场;高深宽比刻蚀也已实现技术突破,产品开发顺利。这两块短板补齐后,中微公司的CCP产品线将覆盖更完整的应用场景。

在技术能力上,中微公司部分CCP产品效果已追平拉姆研究,具备与国际龙头同台竞争的实力。

常见问题

中微公司在全球刻蚀设备市场的份额有多大?

根据行业数据,中微公司2020年在全球干法刻蚀设备市场的份额约为1.37%,但在中国大陆市场,其份额已达到20%,是国产刻蚀设备厂商中的领先者。

中微公司进入台积电供应链意味着什么?

中微公司是唯一进入台积电供应链的国产刻蚀设备厂商,其CCP产品已用于台积电7nm和5nm产线,说明产品在先进制程上获得了国际一流晶圆厂的认可。

大马士革刻蚀补齐后,中微公司能否挑战拉姆研究?

大马士革刻蚀补齐后,中微公司CCP版图趋于完整,具备了在先进制程领域与拉姆研究、东京电子正面竞争的产品基础。但全球格局的改写仍需观察后续市场份额的实际变化,以及高深宽比刻蚀等产品的市场导入进展。

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